Réflectivité optique spectrale

Nous avons développé un système de micro-réflectométrie construit à partir d’un microscope commercial couplé par une fibre optique à un spectromètre, dans le domaine visible et proche infrarouge. La résolution spatiale est meilleure que 1.5 µm.

L’exploitation optimale des objectifs à fort grandissement et grande ouverture numérique est possible grâce à une modélisation précise de l’expérience, en tenant compte de l’anisotropie et de l’absorption de chaque couche, ce qui est important pour les matériaux bidimensionnels étudiés. Un logiciel dédié permet d’analyser rapidement la zone sondée, et de compter le nombre de couches de manière assez fiable pour le graphène ou le MoS₂ notamment.