Caractérisation, mesures et bancs de tests électroniques
L’équipe dispose d’équipements partagés avec le plateau technique Nanoélectronique et également de différents équipements permettant la caractérisation des couches minces obtenues par croissance ou transfert, la caractérisation électronique préliminaire des composants en sortie de salle blanche ainsi que de bancs de tests des capteurs.
Caractérisation optique
- Un microscope Nikon équipé d’une source stable et d’un spectromètre, permet l’observation des échantillons, ainsi que des mesures de réflectométrie (en particulier pour les mesures d’épaisseurs).
- Un spectromètre Raman commercial Horiba équipé d’un laser bleu, utilisé en particulier pour la caractérisation rapide de graphène, d’autres matériaux 2D et de SiC.
Caractérisation électronique simple et avancée
- Un testeur sous pointe équipé de 4 pointes et d’une petite bobine pour les tests préliminaires à l’air de composants (résistance de contact, dopage et mobilité).
- Une bobine résistive (0.1 T) pour des mesures bas bruit de capteurs de champ magnétique.
- Un banc de test de mesures de bruit électronique basse fréquence.
- Un banc de test de gaz à faible concentration (Air/CH4/CO2 – 10ppm).
Enfin, l’équipe dispose d’équipements hautes pressions hydrostatiques jusqu’à 2500 MPa adaptés au transport électronique.
